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清洁,成就非凡。
专为最高标准而设计:适用于半导体制造的柔性组件,在受控条件下生产,以确保最高工艺安全性。
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一个合作伙伴,一项使命:从研发到交付,全程保持洁净室级质量。

在半导体生产中,绝对洁净度至关重要。因此,我们采用高度专业化的清洗工艺,从湿法清洗、在线真空干燥,到在洁净室条件下进行的最终包装。 每个组件均根据客户规格进行检验(例如在 ISO-5 或 ISO-7 条件下),并经过全面的测试,包括氦气泄漏测试(精度高达 10^-10)、颗粒分析(紫外黑光分析/RGA/TOC/APC)以及退火处理。 结果:精密制造、超洁净且可靠的产品。

纯净的化合物,用于制造未来微芯片的精密工艺

膜式波纹管

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超强柔韧性,适用于最严苛的应用场景。

在刚度最低、安装空间最小的条件下,仍能实现极高的灵活性。我们的隔膜波纹管能可靠地将洁净区与功能区隔开,从而保护您的工艺免受污染,并确保洁净室质量始终如一。

每个部件都经过精密设计,以精准匹配您的应用需求,并能在轴几何形状复杂的情况下仍满足您的清洁度要求。

  • 延长敏感组件的使用寿命
  • 最大限度地降低了泄漏或污染的风险
  • 可轻松集成到现有的洁净室系统中

波纹管

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耐压且精准。

适用于超高纯度气体和液体输送。我们的波纹管兼具柔韧性和高抗压强度。专为超高纯度介质设计,可满足从超高真空(UHV)密封到无颗粒包装的各项纯度要求。可根据气体、液体或真空管道的具体需求进行个性化设计。

  • 凭借稳定的抗压强度,减少停机时间
  • 通过氦气泄漏测试和颗粒检测验证密封性
  • 符合ISO 7洁净室标准的包装,确保安装时无污染

精密波纹管

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精准、节省空间且性能强劲

精准、无缝且使用寿命极长的解决方案。

我们的精密波纹管直径极小,且符合最高的纯度要求。这些波纹管采用无缝钢管制造,确保了长久的使用寿命。
非常适合那些对每个细节都至关重要的应用场景。

  • 最长的使用寿命,最低的维护成本
  • 即使在紧凑型组件中也能节省空间
  • 通过无缝制造提高工艺可靠性

阀门波纹管

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紧凑而精准。

用于半导体生产中的真空阀波纹管。我们的阀用波纹管可确保精确的计量、调节和隔绝。它们符合与我们的管路相同的纯度和精度标准。从而为您的设备提供贯穿始终的安全保障。

  • 延长高纯度阀的使用寿命
  • 凭借持久的密封性,降低维护成本
  • 与常见的真空阀系统兼容

波纹软管

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灵活且坚固。

气体、液体和真空环境下的绝对洁净度。

无论是金属材质还是混合材质(金属与塑料的组合),无论是否带有编织层:我们的波纹管都能确保介质安全地通过小弯曲半径和长距离输送。经过个性化配置,它们能与您的系统完美契合。最终实现既灵活又具有最高纯度的连接。

  • 在复杂的设备布局中简化管线布置
  • 灵活的结构设计提升了运行安全性
  • 通过个性化调整缩短安装时间

缠绕软管

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安全且灵活。

我们的缠绕软管可防止半导体领域中敏感线缆(如电缆或光纤)发生折弯和断裂,无论是在晶圆厂内还是设备内部。凭借极小的直径和超洁净的加工工艺,它们在占用最小空间的同时提供最大程度的保护。

  • 为敏感线路提供持久的保护,防止故障发生
  • 小弯曲半径且不损失性能
  • 超纯级制造,确保最高工艺可靠性


问答

是的,Witzenmann 为要求严苛的超高压(UHP)和超高真空(UHV)应用提供解决方案,特别是在半导体行业。

Witzenmann 通过其位于韩国、日本和美国等地的国际子公司,为全球客户提供服务。

Witzenmann的产品组合包括用于超高压(UHP)和超高真空(UHV)应用的高纯度膜片波纹管、波纹管、精密波纹管、真空阀用波纹管、波纹软管、缠绕软管以及定制组件。

Witzenmann 致力于成为 UHP 和 UHV 应用领域的研发合作伙伴。借助设计软件、深厚的专业知识以及用于实际验证的试验台,公司与客户共同开发量身定制的解决方案。

膜片波纹管由单独焊接的膜片盘组成,具有很高的灵活性,特别适用于真空应用。波纹管由成形金属管制成,特别适用于较高的压力载荷。

密封性测试采用氦气泄漏测试法,并根据客户的具体要求进行。典型的泄漏率约为10⁻⁸ mbar·l/s。根据具体应用情况,也可检测出低至10⁻¹⁰ mbar·l/s范围内的泄漏率。

Witzenmann 通过整个生产链确保零部件的质量:从采购合格原材料,到受控且经过验证的生产,再到在洁净室条件下进行的最终清洗、真空干燥和包装。辅以 100% 的检验和有据可查的质量流程,从而实现了高纯度、工艺可靠性和完整的可追溯性。

在半导体制造过程中,单个组件的洁净度直接决定了整个晶圆批次的良率。因此,UHP和UHV组件必须无颗粒、无残留水分且无气化现象,必须长期保持密封状态,并在安装前始终受到无污染的保护。这正是我们“Precise & Clean”理念的体现。

Witzenmann 并不将半导体应用视为独立部件,而是视为一个组件。从半成品到经过验证的高纯度、可直接安装的柔性产品,整个生产流程均在同一厂区内完成,涵盖膜片波纹管、波纹管、金属软管、金属-塑料混合解决方案以及各类组件的完整产品组合。

通过这种方式,我们减少了接口环节,确保了高流程可靠性以及可重复的质量。从设计到成品总成的密封性验证,全程由我们一站式完成。