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洁净，成就非凡

专为最高标准而设计：适用于半导体制造的灵活组件，在受控条件下生产，以确保最高水平的工艺安全性。

联系方式

微电子和半导体制造

半导体技术，即基于半导体材料的电子产品的制造，是当今世界上最重要的工业部门之一。微处理器或存储器芯片的制造高度需要使用复杂的化学 - 物理过程，例如蚀刻，清洁和涂覆过程。没有我们的柔性元件，这些是不可能的。

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超灵活，适用于最严苛的应用场景。

在极低刚度和最小安装空间下实现最高灵活性。我们的膜片波纹管能可靠地隔离洁净区与功能区，从而保护您的工艺免受污染，并确保洁净室质量始终如一。

每个部件均根据您的具体应用需求进行精准定制。

延长敏感组件的使用寿命

最大限度降低泄漏或污染的风险

可轻松集成到现有的洁净室系统中

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耐压且精准。

适用于超高纯度气体和液体的输送。我们的波纹管兼具柔韧性与高耐压性。专为超高纯度介质设计，可满足从超高真空（UHV）密封到无颗粒包装的各项纯度要求。针对气体、液体或真空管道进行个性化设计。

稳定的耐压性能，有效减少停机时间

通过氦气泄漏测试和颗粒检测，确保密封性

符合 ISO 7 标准的洁净室包装，确保安装无污染

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波纹软管（高纯度波纹软管）

柔韧且坚固。

在气体、液体和真空环境下均能保持绝对洁净。

无论是金属材质还是混合材质，无论是否带编织层：我们的波纹软管都能安全地将介质输送过小半径弯头和长距离。通过个性化配置，它们能精准适配您的系统。最终实现兼具最高纯度与灵活性的连接。

在复杂的设备布局中简化管路布置

灵活的结构设计带来更高的运行安全性

个性化定制缩短安装时间

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用于微电子和半导体制造

用于真空阀的耐用金属波纹管
具有最高的移动性的膜片波纹管
适用于清洁要求最高的金属软管
用于光学应用的精密波纹管/执行器

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高品质的生产基础设施

用于组件水清洁的各种自动和手动系统
真空干燥可满足对残余组分水分的最高要求
独立的生产环境，根据 ISO 14644，清洁室达到 5 级

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全球质量领先

为确保我们的组件质量，我们在清洁环境内提供所有常见组件测试：

通过氦气泄漏测试进行泄漏测试
通过UV光进行可视表面控制
分析金属和有机颗粒
排气资格

干净独立的包装可直接应用于产品。